76.2毫米(3”)的晶圆片问世于1973年，是在50毫米晶圆片投入生产后不久问世的。目前3”的晶圆片仍广泛应用于大学和科研开发设备中。 下面列出了一些较为常见的产品规格。如果您在此没有找到所需要的规格， 请与SVM联系 ，把您的需要告诉我们经验丰富的销售人员。

直径: 76.2 +/- 0.2 mm
类型/搀杂剂: N/磷
定位: <100> +/- 1°
生长方法: Cz
电阻率: 10-20 Ω-cm
厚度: 350-400 μm
正面: 抛光
反面: 蚀刻
平边: 2 SEMI 标准
边缘: 成圆和抛光/SEMI标准

直径: 76.2 +/- 0.2 mm
类型/搀杂剂: P/硼
定位: <100> +/- 1°
生长方法: Cz
电阻率: 1-100 Ω-cm
厚度: 350-400 μm
正面: 抛光
反面: 蚀刻
平边: 2 SEMI 标准
边缘: 成圆和抛光/SEMI标准

直径: 76.2 +/- 0.2 mm
类型/搀杂剂: 客户定制
定位: 客户定制
生长方法: Cz
电阻率: 客户定制
厚度: 客户定制
正面: 抛光
反面: 客户定制
平边: 2 SEMI 标准
边缘: 成圆和抛光/SEMI标准