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晶圆片等级 25mm-200mm: 生产 测试 再使用 一般   300mm: 颗粒 炉管 光刻 测试 机械 再使用 一般   专业晶圆片 浮区法(FZ) 外延晶圆片 模式晶圆片 绝缘体上外延硅(SOI) 薄晶圆片 厚晶圆片 超平晶圆片   混合半导体材料（III-V材料） 砷化镓 (GaAs) 锗 (Ge) 磷化铟 (InP) 砷化铟 (InAs) 磷化镓 (GaP) 铌酸锂 (LiNbO3) 钽酸锂 (LiTa)   专业基底材料: 石英 铝 玻璃 蓝宝石