机械级

       机械级晶圆片多为300毫米晶圆片。尽管这种级别可应用于任何直径规格的晶圆片，但是“机械级(mechanical grade)”这一名词多指300毫米的规格。

       机械级晶圆片有时也指处理晶圆片。机械级规格不像许多其它级别的晶圆片那样严格。在此列出了几个SVM库存中备有的机械级别晶圆片规格。

直径: 300 +/- 0.5 mm
类型/搀杂剂: P/硼
定位: {100} +/- 1º
生长方法: Cz
电阻率: 1-100 Ω-cm
厚度: 750-800 μm
正面: 抛光
反面: 抛光
凹槽: SEMI 标准

直径: 300 +/- 0.5 mm
类型/搀杂剂: P/硼
定位: {100} +/- 1º
生长方法: Cz
电阻率: 1-100 Ω-cm
厚度: 750-800 μm
TTV: <=2 μm
正面: Polished
颗粒数: <=100@>=0.2 μm
反面: 抛光
凹槽: SEMI 标准