薄膜覆层

       SVM可按照客户需求提供晶圆片的所有薄膜覆层。 下面仅列出其中一部分，如需更多相关信息，请与SVM联系.

氧化膜:

• 热氧化
• 低温氧化(LTO)
• 碳掺杂氧化膜 (Low K)
  - Black Diamond®
  - CORAL®


• 颗粒净化氧化膜 (<100@0.2 μm)
• 厚氧化膜 (>25KA)
• PETEOS氧化膜
• 颗粒净化氧化膜 (<100@0.2 μm)

氮化膜:

• 等离子体氮化膜
• 氮氧化膜(SiON)
• LPCVD氮化膜

专业薄膜:

• 光刻服务
• 碳化硅膜(SiC)
• BPSG膜
• 多晶硅
• 非晶硅
• 光阻

金属:

• PVD, CVD 和镀铜
• Ta, TaN, Ti, TiN, TiW, W, WN, Cu, Al, Al-Cu, Al-Si-Cu
• 稀有金属